中走絲那個好，介紹了電容式傳感器在小量程壓力測量領域的優(yōu)勢和目前研制小量程MEMS電容式壓力傳感器的技術難點。從實現(xiàn)MEMS電容式傳感器小量程壓力測量的不同方法出發(fā)，詳細論述了國內外的研究成果、關鍵技術及應用情況。

中走絲那個好，最后分析總結了小量程MEMS電容式壓力傳感器的發(fā)展方向與挑戰(zhàn)。如今，用于測量中等壓力(0.1～10 MPa)的MEMS傳感器已經相當成熟，并且已經實現(xiàn)批量化生產。工作壓力低于0.1 MPa者卻不多見，遠不能滿足小量程壓力測量需求。

中走絲那個好，小量程壓力測量主要應用于大氣壓力測量和生物體內部的壓力測量。氣壓測量在氣象、航空、實驗室等條件中運用頻繁。在氣象學領域里，壓力數據是估算大氣中水汽含量不可或缺的參數。

中走絲那個好，又如，根據氣壓值隨海拔高度線性降低的關系可以實時獲取航天器飛行時的高度位置信息。這些應用領域的氣壓值均在一個大氣壓（0.1 MPa)以下，而且需要傳感器便攜式和集成化。