高檔中走絲，另外，在小壓力范圍內(nèi)，內(nèi)應(yīng)力對(duì)可動(dòng)極板工作性能的影響也特別大，內(nèi)應(yīng)力會(huì)阻礙可動(dòng)極板形變，降低傳感器靈敏度，增加非線性誤差。而現(xiàn)階段測(cè)量微小電容主要面臨的困難是檢測(cè)電路的復(fù)雜性和精度不高的問(wèn)題。

高檔中走絲，由于小量程傳感器的輸出電容太小，所以檢測(cè)電路極其復(fù)雜；與被測(cè)的微小電容相比，雜散電容一般要高很多，并且雜散電容會(huì)隨諸多因素而變化，結(jié)果往往是干擾信號(hào)遠(yuǎn)大于被測(cè)量的信號(hào)，很難得到準(zhǔn)確的結(jié)果。

高檔中走絲，因此，要實(shí)現(xiàn)小量程壓力測(cè)量，不僅需要在小體積約束條件下改變電容式傳感器的結(jié)構(gòu)來(lái)提高電容輸出，以削弱雜散電容的干擾和降低測(cè)試電路的復(fù)雜性，還需要優(yōu)化測(cè)量電路，增加其分辨率和精度。國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀，在二十余年的時(shí)間里，國(guó)外小量程MEMS電容式壓力傳感器的研制已經(jīng)取得一定成績(jī)。