搖擺中走絲，這種結(jié)構(gòu)不僅可以作為真空絕對壓力傳感器實現(xiàn)對真空環(huán)境的壓力監(jiān)控，還可以作為微差壓傳感器。硅可動極板與下層玻璃間的電容Cd用于檢測壓力變化。

搖擺中走絲，當(dāng)Cd變化時，其變化信號通過電容/電壓轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)化成電壓變化信號，然后電壓變化信號通過放大器變成伺服電壓VS，VS反饋到伺服電極上，對可動極板產(chǎn)生一個和原始變形方向相反的靜電力FS，使薄膜回到初始位置，這樣就實現(xiàn)了伺服效果，增大了器件的動態(tài)工作范圍。同時，當(dāng)壓力過大時，可動極板會碰到下層玻璃完成過載保護(hù)。

搖擺中走絲，在TRANSDUCERS’11會議上，Evigia Systems公司提出了一種全新結(jié)構(gòu)的MEMS電容式壓力傳感器來同時獲得高靈敏度和大動態(tài)范圍。研究人員將壓敏元件和電容的可動極板進(jìn)行了去耦操作，即增加一個力敏薄膜來感知外界壓力變化，然后將壓敏薄膜通過一個中心軸與平行板電容式器的可動極板進(jìn)行機(jī)械耦合從而實現(xiàn)小量程壓力測量。